JKZC-DN系列增強型探針臺
|產品概要
JKZC-DN系列增強型探針臺是我司一款增強型晶圓測試探針臺，最大可完成12英寸晶圓的電學測試。此系列探針臺釆 用高剛性顯微鏡龍門結構，顯微鏡可X-Y-Z方向進行精密位移調節。卡盤具備上下調節功能,可以使探針與 樣品快速分離，提高測試效率，在科研單位和半導體工廠都得到了廣泛運用，配合對應的儀器儀表,可以完 成集成電路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性測試/管芯晶圓LED/LCD/太陽能電池行業的測試。此系列探針臺可以實現1μm以上的Pad電極測試。
|技術特點
•顯微鏡具備高剛性龍門支架且搭配氣動升降，保證高質量的光學成像；
•卡盤同時具備快速和微調升降，便于樣品和探針快速分離，也可以加載探針卡；
•可升級性強，可升級卡盤360度快速移動，可升級光電流掃描成像或拉曼-瞬態熒光壽命成像系統等。
詳細參數
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產品型號
技術參數
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JKZC-DN4
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JKZC-DN6
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JKZC-DN8
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JKZC-DN12
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探針臺臺體
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主體材料
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航空鋁
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航空鋁
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航空鋁
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航空鋁
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整機尺寸（mm）
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580L*480W*620H
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630L*530W*620H
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700L*580W*620H
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800L*650W*620H
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重量
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50kg
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60kg
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80kg
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120kg
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自適應減震系統
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自適應減震底座設計，可有效過濾環境中的震動源干擾
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卡盤大小
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4",360度轉動，可微調
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6",360度轉動，可微調
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8",360度轉動，可微調
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12",360度轉動，可微調
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卡盤XY5S行程
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4"*4"，精度 10um
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6"*6"，精度 lOurm
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8"* 8"，精度
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12"*12，精度 10um
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卡盤Z軸行程
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快速升降5mm,微調升降行程6mm,精度1微米
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卡盤材質
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不銹鋼鍍金，具備更小的接觸電阻
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卡盤吸附方式
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真空吸附，可選擇環形吸附或者多孔吸附（適用于薄片）
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背電極測試功能
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卡盤鍍金，電學獨立懸空，帶2個4mm香蕉頭插口，具備背電極功能
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其它功能
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帶標準接地保護，可升級，ChJKZC-UCk360度快速移動（選件）
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針座平臺
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材質
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U型平臺，Q235鍍第帶接地端子
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大小
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最多可放置4〜6個探針座 最多可放置8~10個探針座
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■mkZB系統
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顯微鏡類型
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體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統
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倍率范圍
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16X~200X/40X~280X/20X~4000X
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顯微鏡行程
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具備高剛性龍門架結構,XYZ行程分別為2英寸*2英寸*2英寸，精度lum
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CCD成像系統
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2k或者4K相機，幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能
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探針座
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種類
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絲桿型/微分頭型/經濟型探針座
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X-Y-Z行程
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12.5mm-12.5mm-12.5mm
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機械精度
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0.5um/0.7um/2um
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夾具
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漏電精度 接口形式
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同軸夾具10pA/三軸夾具lOOfA
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同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口
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其它
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選件
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ChJKZC-UCk360度快速移動/屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率
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電力需求
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220V/50HZ
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