博世力士樂FTS磁懸浮柔性輸送系統： 賦能顯示面板制造，引領高效精密傳輸新紀元
http://m.moduwu.com 2025-12-03 10:40 來源：博世力士樂
隨著全球顯示面板市場持續擴張，產業升級對核心制造設備提出了更高要求。根據相關預測，2025年全球顯示面板市場規模預計將達1.4萬億元人民幣，同比增長約7%，其中中國大陸市場份額首次突破半數，占據全球52.1%的產能。在這一背景下，高世代線（如G8.6 OLED）設備需求顯著提升，推動傳輸技術向更高精度、更高效率方向演進。
FTS磁懸浮柔性輸送系統FTS磁懸浮柔性輸送系統
PVD鍍膜設備作為顯示面板制造的關鍵環節，其傳輸系統是確?；模ㄈ绮Ａ?、硅片等）在真空環境下精準、高效移動的關鍵模塊，直接影響鍍膜均勻性和良率。博世力士樂FTS磁懸浮柔性輸送系統，憑借其在真空環境下的卓越表現，成為顯示面板行業極具競爭力的解決方案。
FTS磁懸浮柔性輸送系統在顯示面板中的應用
自2004年首次將磁懸浮技術成功應用于光伏行業PVD設備以來，博世力士樂FTS系統持續升級，展現出在高真空、高溫等嚴苛工況下的卓越適應能力。從顯示玻璃基板到晶圓處理，FTS磁懸浮柔性輸送系統展示了其特殊的處理特性，可以輕松應對從每個載體幾克到 5,000 公斤的各種移動負載。結合FTS高重復定位精度和高達 5 m/s 的速度以及 20 mm/s 時最大 2% 的速度波動，是面板制造行業的不二之選。
▶廣泛負載能力：單載體負載范圍從幾克至5000公斤，滿足多樣化工藝需求
▶高速高效傳輸：最高速度達5m/s，兼顧涂層工藝所需的低速精密控制
▶卓越的環境適應性：可在10⁻⁸ mBar高真空及150ºC高溫環境下穩定運行
▶高精度的運動控制：重復定位精度達±0.02mm，速度波動小于±2%（20mm/s時）
▶無接觸式設計：所有驅動元件均置于真空腔體外，傳輸過程中無粉塵產生
▶模塊化結構：系統易于維護，顯著降低設備全生命周期成本
FTS磁懸浮柔性輸送系統的另一個獨特之處是其運動控制功能和適用于低速使用，例如涂層工藝。無論是在潔凈室、真空、惰性氣體、高溫還是化學領域使用，博世力士樂 FTS磁懸浮柔性輸送系統都能滿足各種運輸和搬運任務的需求。
博世力士樂FTS磁懸浮柔性輸送系統在面板行業的發展
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